DB하이텍, 모아팹에 MEMS 장비 이전…국가 나노팹 공정 지원

열처리·식각 장비 3대 제공…연구개발·시제품 제작에 활용

지난해 정부·반도체 3사 협약 후속…시스템반도체 기반 강화

모아팹 반도체 장비 이전 협약식 참석자들이 기념촬영을 하고 있다 [사진=DB하이텍]

DB하이텍이 국가 나노팹 통합 플랫폼인 '모아팹'에 미세전자기계시스템(MEMS) 공정 장비를 이전한다. 기업이 사용하던 제조 장비를 공공 연구시설에 제공해 연구기관과 중소 팹리스의 시제품 제작 기반을 넓히려는 취지다.

DB하이텍은 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부와 모아팹 관계자들이 참석한 가운데 반도체 장비 이전 협약을 체결했다고 밝혔다.

모아팹은 지역별 국가 나노팹을 연계해 반도체 연구개발과 시제품 제작을 지원하는 통합 플랫폼이다. 연구자가 필요한 장비와 공정을 기관별로 찾아야 했던 불편을 줄이고 팹 간 장비 활용도를 높이는 데 초점을 맞추고 있다.

DB하이텍은 고온 열처리 장비 1대와 식각 장비 2대 등 MEMS 공정용 장비 3대를 이전한다. 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원에 설치돼 연구개발과 시제품 제작에 활용될 예정이다.

MEMS는 반도체 공정을 이용해 센서와 미세 기계 구조물을 함께 구현하는 기술이다. 자동차와 모바일 기기, 의료기기, 산업용 센서 등으로 적용 범위가 넓어지고 있어 초기 시제품을 제작할 수 있는 공공 인프라가 중요하다는 평가가 나온다.

이번 장비 이전은 과학기술정보통신부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍이 지난해 3월 체결한 모아팹 지원 협약이 실제 공정 장비 확충으로 이어진 사례다.

국가 나노팹은 대학과 연구기관뿐 아니라 자체 생산시설이 없는 팹리스와 소재·부품·장비 기업이 공정 기술을 검증하는 기반으로 활용된다. 장비가 추가되면 MEMS 분야의 공정 개발과 제품 상용화에 필요한 시험 기간을 줄일 수 있을 것으로 관측된다.

DB하이텍은 장비 이전에 그치지 않고 반도체 제조기술과 팹 운영에 필요한 자문도 제공할 계획이다. 생산 현장에서 축적한 공정 관리 경험을 공공 연구 인프라와 공유해 시스템반도체 생태계 지원 범위를 넓힌다는 방침이다.

DB하이텍 관계자는 "MEMS 공정용 장비 기증을 통해 국가 나노팹 지원을 확대할 것"이라며 "반도체 제조기술과 팹 운영 자문도 지속적으로 제공하겠다"고 말했다.