中, 액침 DUV 장비 생산 착수…ASML 등 반도체 장비주 급락

[사진=ASML]

중국 정부 지원을 받는 업체가 반도체 제조용 액침 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 착수했다는 소식에 글로벌 반도체 장비주가 일제히 급락했다. 중국의 반도체 장비 국산화 진전에 대한 우려가 투자심리를 위축시켰다.
 
블룸버그통신은 27일(현지시간) 미국 정보기술(IT) 매체 디인포메이션을 인용해 상하이에 본사를 둔 중국 업체가 자체 개발한 액침 DUV 노광장비를 생산하기 시작했다고 보도했다. 업체명은 공개되지 않았다.
 
노광장비는 빛을 이용해 반도체 웨이퍼(칩 바탕이 되는 얇은 원판)에 미세 회로를 새기는 핵심 설비다. 액침 DUV는 렌즈와 웨이퍼 사이에 물을 채워 회로를 더욱 정밀하게 그리는 장비로, 네덜란드 ASML이 시장을 주도하고 있다.
 
중국 업체는 올해 장비 5대, 내년에는 20대를 생산하는 것을 목표로 하고 있다. 올해 생산분은 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 중신궈지(SMIC)와 화훙반도체, D램 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등에 공급될 예정이다.
 

다만 중국산 장비는 아직 초기 생산 단계다. 성능과 신뢰성도 ASML 제품에 미치지 못하는 것으로 전해졌다. ASML이 지난해 액침 DUV 장비 131대를 출하한 점을 고려하면 중국 업체의 생산 규모도 아직 제한적이다.
 
시장에서는 생산 규모보다 중국이 첨단 노광장비를 자체 생산하기 시작했다는 점에 주목했다. 이날 네덜란드 증시에서 ASML은 8.4% 급락했다. ASM인터내셔널은 7.3%, BE세미컨덕터는 9.9% 떨어졌다. 미국 증시에서도 어플라이드머티어리얼즈가 6.7%, 램리서치가 7.9% 하락했다.
 
중국은 미국 주도의 수출 통제로 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 수입하지 못하고 있다. 고성능 액침 DUV 장비도 네덜란드 정부의 수출 허가 대상이다. 이에 중국은 노광장비를 비롯한 반도체 핵심 장비의 국산화를 추진하고 있다.