에코프로에이치엔, 삼성E&A에 330억 규모 RCS 공급

반도체 온실가스 저감 사업 연속성 확보

촉매 기반 저온 분해 기술 적용

에코프로에이치엔 본사 전경 [사진=에코프로에이치엔]

에코프로에이치엔이 삼성E&A에 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다. 이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.

에코프로에이치엔이 공시를 통해 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 27일 밝혔다. RCS(Regenerative Catalytic System)는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다.

PFCs는 CO2 대비 수천~수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조 현장에서 반드시 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.

에코프로에이치엔은 촉매 기반 온실가스 저감 기술을 바탕으로 RCS 분야에서 기술력을 인정받고 있다. 기존 열분해 처리 시스템은 온실가스 저감을 위해 1300~1400도 수준의 초고온 공정이 필요했지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800도 수준에서 온실가스를 분해할 수 있어 에너지 사용량을 약 95% 절감할 수 있다.

에코프로에이치엔은 국내 반도체사의 글로벌 생산거점 투자 확대 흐름에 맞춰, 북미를 비롯한 해외 반도체 기업으로 고객사를 다변화하며 글로벌 사업 영토를 넓혀간다는 계획이다.

에코프로에이치엔 관계자는 "이번 수주는 당사의 독보적인 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 재확인받은 결과"라며 "앞으로도 차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화해 나갈 것"이라고 말했다.

한편, 에코프로에이치엔은 대기오염 방지, 온실가스 감축, 이차전지·반도체 소재 사업을 영위하는 국내 유일의 친환경 토탈 솔루션 기업이다. 1998년 모태인 에코프로 환경사업부에서 출발해 2021년 인적분할로 설립됐다.