ASML 경영진, 삼성전자 화성사업장 방문…협력 관계 공고히

삼성전자가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML과 협력 관계를 공고히 다지고 있다. 삼성전자는 ASML의 장비를 확보해 파운드리(반도체 수탁생산) 부문 세계 1위 목표 달성에 속도를 낼 것으로 보인다.

30일 업계에 따르면 피터 버닝크 최고경영자(CEO)를 비롯한 ASML 경영진은 최근 방한해 고객사들을 연이어 방문했다. 특히 버닝크 CEO는 삼성전자 화성사업장에서 김기남 삼성전자 부회장을 직접 만났다. 삼성전자 반도체 부문 핵심 경영진이 함께 참석했지만 이재용 부회장은 불참했다.

업계 관계자는 “(ASML 경영진은) 고객사를 정기적으로 방문하는데, 그 일환으로 지난주 삼성전자 반도체 사업장을 다녀갔다”고 말했다. 삼성전자 관계자도 “지난주 김 부회장과 ASML 경영진이 만났다”고 전했다.

앞서 이 부회장은 지난 10월 13일(현지시간) 네덜란드에 있는 ASML 본사를 찾아 버닝크 CEO를 만났다.

당시 이 부회장과 버닝크 CEO는 7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안, 인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 등 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다.

삼성전자가 ASML과 협력 관계를 공고히 하는 이유는 파운드리 세계 1위를 달성하기 위해선 EUV 장비 확보가 무엇보다 중요하기 때문이다.

EUV 장비는 반도체 미세공정에 필요한 장비로, 현재 EUV 장비를 만드는 곳은 전 세계에서 ASML이 유일하다. ASML은 1년에 EUV 장비를 30대가량 생산하는 것으로 알려져 있다.

이 부회장이 코로나19 사태에도 불구하고 직접 네덜란드 본사를 방문한 것은 EUV 장비 확보에 대한 의지를 보여준 것으로 풀이된다.

삼성전자는 2030년 파운드리 세계 1위 달성을 목표로 하고 있다. 현재 5나노 기술을 보유한 삼성전자는 2022년까지 3나노 반도체를 양산하겠다고 공식적으로 밝혔다. 세계 1위 파운드리 업체 TSMC는 2022년 하반기를 목표로 하고 있는데, 이보다 앞선 것이다.

반도체 업계에서는 이번 만남에서 삼성전자와 ASML이 차세대 EUV 장비와 관련한 투자를 논의한 것으로 보고 있다. 다만 ASML 관계자는 “추가적인 투자 계획이 이뤄진 것은 없다”고 말했다.
 

이재용 삼성전자 부회장이 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 반도체 장비업체 ASML를 방문해 생산과정을 살펴보고 있다. [사진=삼성전자 제공]