[NNA] SK하이닉스, 반도체용 네온 가스 재활용 기술 개발

사진=SK하이닉스 홈페이지

SK하이닉스는 반도체 제조 노광공정에서 사용되는 희귀가스인 ‘네온 가스’ 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 국내 특수가스 기업 TEMC와 공동으로 개발했다. 네온 가스의 재활용 기술을 개발한 것은 이번이 국내 최초라고 한다.

 

SK하이닉스는 지난 2월, ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵’을 발표하고, 재활용 소재 사용비율을 2025년까지 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 계획을 밝힌 바 있다.

 

SK하이닉스와 TEMC는 노광공정 이후 배출가스 처리장치(스크러버)를 통해 배출되는 네온 가스를 회수, 수집 탱크에 저장하고, TEMC의 가스 처리 기술을 통해 네온 가스만 분리・정제하는데 성공했다. 정제된 네온 가스는 SK하이닉스에 공급돼 반도체 제조에 재활용된다.

 

SK하이닉스에 따르면, 현재 네온 가스의 회수율은 72.7%. 앞으로 정제효율을 향상시켜 77%까지 회수율을 높인다는 계획이다.

 

반도체용 네온 가스는 대부분 수입에 의존하고 있다. SK하이닉스는 네온 가스 재활용으로 연 400억 원(약 45억 엔)의 구입비용을 절감할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 아울러 온실가스 감축에도 기여하게 될 전망이다.