'역사적 순간' 중국 DUV 개발업체는 설립 3년된 '아이성나'

[그래픽=로이터·연합]

중국이 이머전(액침) DUV(심자외선) 노광기를 국산화하는 데 성공했다는 보도가 나온 데 이어, 해당 장비 개발사는 상하이에서 설립된 아이성나(愛晟納)인 것으로 나타났다. 

중국의 국영기업인 아이성나전자기술그룹이 중국 내 노광기 전문가들을 영입해 이머전 DUV를 제작하고 있다고 로이터가 익명의 소식통을 인용해 29일 전했다. 

아이성나는 2023년 8월 설립된 기업으로 자본금은 70억위안(한화 약 1조5000억원)이다. 상하이전기(SMEE)가 지분 50%를, 상하이 시정부 산하 상하이국제신탁이 50%를 각각 보유하고 있다. 두 곳 모두 국유기업이다. 아이성나는 SMEE의 노광기 개발 팀과 위량성(宇量昇)의 노광기 개발 팀을 영입했다고 로이터는 보도했다. SMEE와 위량성 모두 노광기를 개발하고 있는 업체다. 위량성은 화웨이 관계사로 받아들여지고 있는 반도체 장비업체인 사이캐리어(신카이라이·新凱來)의 자회사다. 

중국이 국가 차원에서 DUV 장비 개발을 앞당기기 위해 2023년 아이성나라는 업체를 만들고 SMEE와 위량성의 개발진들을 통합한 것으로 분석된다. 

앞서 미국 IT 매체 더인포메이션은 28일 보도를 통해 중국의 한 반도체 장비업체가 액침 DUV를 제작하고 있으며 올해 5대, 내년 20대를 출하할 예정이라고 전했다. 매체는 이 업체의 이름을 보도하지 않았다. 

한편 중국의 액침 DUV 제작이 사실이라면 이는 역사적인 기술 돌파라는 평가가 나오고 있다. 싱가포르경영대학교의 푸팡젠 부교수는 연합조보와의 인터뷰에서 "중국이 미국의 기술 압박을 극복하는 획기적인 돌파구가 될 것"이라고 의미를 부여했다. 

또한 싱가포르에 본사를 둔 어드밴치지리서치컨설팅의 장판 설립자는 "중국이 DUV를 만들어 낸다면 중국이 7나노 반도체 공정 기술을 돌파하는 것은 시간 문제일 것"이라며 "중국이 노광기 기술 개발을 가속화한다면 미국 주도의 글로벌 반도체 생태계에 실질적인 위협을 가하게 될 것"이라고 설명했다.