SKC솔믹스, 반도체 핵심부품 CMP패드 증설공장 상업가동

윤동 기자입력 : 2021-08-03 09:05
SKC의 반도체 소재·부품 전문 자회사 SKC솔믹스가 반도체 평탄화 공정용 핵심부품 CMP패드(Chemical Mechanical Polishing PAD) 천안공장 상업가동을 개시했다. 기존 안성공장을 포함해 총 연산 18만장의 생산능력을 확보한 SKC솔믹스는 CMP패드 국산화율을 견인하겠다는 방침이다.

SKC솔믹스는 최근 충남 천안 CMP패드 2공장 상업가동을 시작했다. 지난해 470억원을 투자해 건설한 이곳에선 한 해 12만장의 CMP패드를 생산할 수 있다. SKC 반도체소재사업은 2015년 200억원을 투자해 안성 용월공단에 6만장 규모의 CMP패드 1공장을 준공하며 CMP패드 사업을 시작했다. 이후 증가하는 수요에 대응하기 위해 2공장을 증설하고 생산능력을 기존 대비 세 배로 확대했다.

폴리우레탄 소재로 만드는 CMP패드는 CMP슬러리와 함께 노광, 식각, 증착 공정을 거친 반도체 웨이퍼 표면을 기계적, 화학적 작용으로 연마하는 고부가 제품이다. 반도체의 집적도를 높이는 데 필요한 핵심소재로, 최근 반도체가 미세화하고 공정수가 증가하면서 사용량이 늘고 있다.

CMP패드 시장은 미국 회사 2곳이 점유율 90% 이상을 차지하고 있다. 기술 및 특허 장벽이 높아 신규 업체 진입이 쉽지 않기 때문이다. 그러나 SKC 반도체소재사업은 2015년 사업에 진출한 이후 독자적인 연구·개발(R&D)에 노력한 결과 국내외 특허 200여건을 출원하는 등 사업 경쟁력을 강화했다.

SKC솔믹스는 CMP패드 제조사 중에선 유일하게 CMP패드 원액 제조 레시피를 보유하고 있다. 특히 마이크로미터 수준으로 작은 CMP패드 속 기공의 크기, 균일도를 자유자재로 조절하는 역량도 갖고 있다.

이는 고객사가 원하는 물성과 접촉면을 가진 CMP패드를 신속하게 개발하고 공급할 수 있다는 의미다. 이를 바탕으로 SKC는 수입에 대부분을 의존했던 CMP패드 소재 국산화를 추진하고 있다.

SKC솔믹스 관계자는 "천안공장은 수입에 의존했던 CMP패드, 블랭크마스크를 생산하며 반도체 소재 국산화를 이끌어가는 거점이 될 것"이라며 "현재 진행하고 있는 해외 글로벌 반도체 제조사 인증평가를 성공적으로 마무리하고 글로벌 시장에 진출해 반도체 소재 공급망 강화에 기여하겠다"고 말했다.
 

충남 천안시에 소재한 SKC솔믹스 공장에서 CMP패드 제조 공정이 진행되고 있다.[사진=SKC 제공]


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