정부, 2030년까지 초순수 핵심기자재 90% 국산화…반도체 공급망 강화

차세대 초순수 생산공정 연구개발 사업 [사진=기후에너지환경부]

정부가 반도체 생산 핵심 공업용수인 초순수의 기술 자립화에 속도를 낸다. 해외 의존도가 높은 초순수 핵심기자재의 국산화율을 2030년까지 90% 이상으로 확대해 첨단산업 공급망 안정성을 강화한다는 구상이다.

기후에너지환경부는 '차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)'를 본격적으로 시작한다고 26일 밝혔다.
 
이번 2단계 사업을 시작하기 위해 기후부는 한국환경산업기술원, 테크로스워터앤에너지, 지앤지인텍 등 공공기관 및 관련 업계와 오는 27일 서울 중구 프레지던트호텔에서 착수회의를 개최할 계획이다.
 
초순수는 반도체와 디스플레이, 이차전지 생산공정에서 웨이퍼와 설비 세정에 사용되는 고순도 공업용수다. 극미량의 유기물과 입자, 이온까지 제거해야 해 고난도 수처리 기술이 요구된다.
 

최근 반도체 공급망 안정성이 국가 경쟁력과 직결되면서 초순수 생산·공급 기술의 국산화 필요성도 커지고 있다. 글로벌워터인텔리전스(GWI)에 따르면 세계 초순수 시장 역시 지난해 46조5000억원 규모에서 2030년 58조9000억원까지 성장할 것으로 전망된다.

이에 기후부는 초순수 산업을 반도체 산업과 동반성장의 기회로 활용하기 위해 '고순도 공업용수 생산 국산화 기술개발사업(1단계)' 연구개발사업을 2021년부터 추진해 왔다.
 
1단계 결과 자외선 산화장치(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등의 초순수 공정의 핵심 기자재를 국산화하는 데 성공했다.
 
또한 국내 기술로 개발된 초순수를 에스케이실트론 구미사업장의 반도체 웨이퍼 생산공정에 공급하고 지난 19일 기술이전을 완료해 현장 적용성과 신뢰성을 검증했다.
 
이번 2단계 사업은 이를 기반으로 초순수 공급 배관 등 소재 분야까지 국산화 범위를 확대하는 것이 핵심이다. 정부는 초순수 생산·공급 전 과정의 국산화율을 90% 이상으로 끌어올린다는 목표다.

아울러 탄소규제 대응과 운영비 절감을 위한 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 병행한다. 기후위기로 인한 산업용수 공급 불안에 대응하기 위해 하수재이용수를 초순수 원수로 활용하는 기술 개발도 추진된다.

특히 정부는 내년부터 초극미량(ppt·1조분의 1) 수준의 분석기술 개발에도 나설 계획이다. 생산 기술뿐 아니라 초순수 품질을 정밀 평가할 수 있는 분석 체계까지 확보해 초순수 산업 전 주기의 기술 생태계를 구축한다는 구상이다.

김지영 기후부 물이용정책관은 "이번 2단계 초순수 연구개발사업은 단순한 기자재 국산화를 넘어 초순수 생산 전과정의 기술 자립과 지속가능한 공급체계를 구축하는 전환점이 될 것"이라며 "반도체를 비롯한 국가 첨단전략산업의 경쟁력을 뒷받침하고 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반을 마련하는 계기가 될 것"이라고 밝혔다.