CXMT 상장에 이어 DUV 국산화까지...매서운 중국 반도체 굴기

화웨이 관계사, 7나노 공정 가능 DUV 올해 5대 출하 예정

미국의 대중국 반도체 제재 이미지 [사진=로이터·연합]

중국이 반도체 공정 핵심장비인 심자외선(DUV) 노광기 국산화에 성공한 것으로 나타났다. 27일 중국의 최대 D램 업체인 CXMT의 상장 성공에 이어 중국 반도체 업계에 호재가 잇따르고 있다. 

중국의 한 기업이 자체 개발한 이머전(액침) DUV 장비를 생산하기 시작했으며, 올해 5대를 생산해 고객사에 납품할 예정이라고 미국 IT 전문 매체인 더인포메이션이 28일 전했다. 매체에 따르면 올해 생산분은 SMIC, 화훙반도체, CXMT 등 중국의 주요 반도체 업체들에게 공급된다. 중국 업체가 이머전 DUV를 제조하는 것은 이번이 처음이다. 더인포메이션은 올해 5대가 생산된 후 내년에는 20대가 출하될 것이라고 전했다. 

미국은 2019년부터 최첨단 EUV(극자외선) 노광기의 중국 수출을 금지시켰다. 이어 2023년부터는 이머전 DUV 장비의 중국 수출마저 금지시킨 상태다. 

이머전 DUV는 한 번의 노광 작업(패터닝)으로 28나노(nm) 공정의 반도체를 만들어 낼 수 있다. 여러 번 회로를 노광하는 멀티패터닝 작업을 거친다면 7나노 공정까지 커버가 가능하다. 다만 멀티패터닝은 수율(양품률)이 낮고 제조원가가 높아진다는 단점이 있다. 

이머전 DUV는 네덜란드의 노광기 업체인 ASML이 2006년 시장에 출시했다. 중국 업체가 제조하고 있는 장비는 ASML의 2008년 버전 이머전 DUV와 성능이 비슷할 것으로 분석되고 있다. 산술적으로 ASML과 중국의 노광기 기술 격차는 18년인 셈이다. 

하지만 중국이 DUV를 국산화한 것은 상당한 성과라는 평가가 나온다. DUV 국산화는 중국의 28나노 반도체 공정 국산화가 완성됐음을 의미한다. 또한 중국은 이를 바탕으로 EUV 노광기 개발에도 박차를 가할 것이라는 예상도 나온다. 

중국 DUV 장비 제조사의 이름은 공개되지 않았다. 하지만 중국 내에서는 DUV 개발업체이자 화웨이의 관계사인 위량성(宇量昇)이 해당 업체일 것이라는 추정이 나오고 있다. 지난해 9월 영국 파이낸셜타임스(FT)는 SMIC가 위량성이 제작한 이머전 DUV를 테스트하고 있다고 보도한 바 있다.

위량성의 지분 50%는 상하이 시정부 산하 벤처캐피털이 보유하고 있고, 나머지 50%는 중국의 반도체 장비업체인 사이캐리어가 보유하고 있다. 사이캐리어는 선전시 정부 산하 벤처캐피털이 100% 지분을 보유하고 있다. 사이캐리어의 주축이 화웨이의 정밀 장비 개발팀 팀원들이라는 점에서 중국 업계는 사이캐리어를 화웨이 관계사로 받아들이고 있다. 

한편 27일 상장된 중국의 D램 업체 CXMT는 첫날 주가가 476% 급등하면서 중국 증시 시가총액 1위 기업에 올랐다. 중국의 증권 업계와 매체들은 이번 CXMT의 상장을 중국 반도체 산업의 상징적인 사건으로 평가하고 있다. 단순한 한 기업의 IPO를 넘어서 중국 반도체 산업의 성장, 중국 AI 공급망 국산화, 첨단 기술 자립 등에 대한 투자자들의 긍정적인 기대감이 분출됐다는 해석이 나오고 있다.