반도체 EUV 장비 도입기간 최대 34일→9일로 단축…검사비용도 절감

고압가스 안전관리법 시행령 일부개정안 국무회의 의결

용인 반도체클러스터 조감도 이미지 [사진=용인시]

인공지능(AI)용 수출이 늘어나는 반도체 생산을 지원하기 위해 정부가 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 이에 따라 도입 기간이 34일에서 9일로 최대 25일 당겨지고 도입 비용도 5억원가량 절감될 전망이다.

산업통상부는 2일 국무회의에서 이 같은 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령 일부개정안'을 의결했다고 밝혔다. 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 특정설비 기준을 적용하도록 한 것이 핵심이다.

최근 반도체 수출은 우리 경제를 이끌어가고 있다. 지난달 반도체 수출액은 371억6000만 달러로 1년 전보다 169.4% 급증했다. 미국 빅테크기업들의 설비투자 증가에 메모리 고정가격 상승이 지속된 영향이다.

반도체를 중심으로 한국 수출이 '꿈의 1조 달러'를 달성할 수 있다는 관측도 나온다. 다만 기업들도 첨단 반도체 생산라인 구축에 필수적인 설비 수입을 늘리고 있지만 장비 도입이 지연되는 문제가 지적돼 왔다.

이에 정부는 반도체 핵심 공정에 사용되는 EUV 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화하기로 했다. 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동해 산업의 '초격차' 유지에 기여하기 위한 것이다.

그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관 및 장치가 포함돼 고압가스 제조설비로 분류됐다. 이에 장비 설치 때마다 기술검토와 중간검사, 완성검사 등을 받아야 해 장비 도입에 34일가량 걸렸다. 중간검사 과정에서 해외 공인검사기간의 내압기밀 검사가 필요해 장비당 검사 비용 5억원도 필요했다.

EUV 장비 검사절차 개선 전후 비교. [사진=산업통상부]

산업부는 현장의 애로를 해소하기 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴했다. 또 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 면밀히 검토해 EUV 장비를 특정설비로 전환해 안전성을 관리하기로 했다.

이를 통해 기술검토 기간은 현재 15일에서 2일, 중간검사는 생략, 완성검사는 7일에서 2일로 단축된다. 총 소요기간은 34일에서 9일로 대폭 단축될 예정이며 중간검사에 따른 비용 부담도 덜 수 있을 것으로 보인다. 

또 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'가 상용화 될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화한다. 상업용 액화 이산화탄소 세정설비, 고압가스 저장시설 등 위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임기준을 현실도 맞게 정비했다.

개정안은 다음 주 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원하겠다"고 말했다.