美·네덜란드, 대중국 반도체 장비 수출 제재 강화 예정…"원투펀치 날린 격"

네덜란드산 DUV 장비 수출 원천 차단

SMIC 등 중국 팹에 네덜란드산 장비 수출 막힐 듯

[사진=로이터통신·연합뉴스]

미국과 네덜란드가 반도체 제조 장비에 대한 대중국 수출 제재를 더 강화할 예정이라고 로이터통신이 29일(이하 현지시간) 보도했다.
 
앞서 미국은 지난해 10월 국가 안보를 이유로 램리서치, 어플라이드머티어리얼즈 등 미국 반도체 제조 장비 회사들의 대중국 수출을 막았다. 이후 미국은 반도체 제조 장비 업계의 두 축인 일본과 네덜란드 정부에도 이 조치에 합류할 것을 압박했다.
 
이에 따라 네덜란드 정부는 30일 중 ASML의 심자외선(DUV) 노광장비 수출을 제한하는 새 규정을 발표할 계획이다. 네덜란드는 그간 최첨단 장비인 극자외선(EUV) 노광장비에 대한 중국 수출은 막았으나, DUV에 대해서는 따로 제재하지 않았었다. ASML은 지난 3월 DUV 노광장비인 TWINSCAN NXT:2000i 등이 대중국 수출 제재의 영향을 받을 것으로 전망한 바 있다. 익명의 소식통들은 네덜란드의 새 규제가 오는 9월 중 발효될 것으로 보인다고 말했다.
 
미국은 기존 제재안을 더 강화한다. 미국은 중국 최대 반도체 제조업체인 중신궈지(SMIC) 등 중국 회사들이 운영하는 팹(공장)에 반도체 제조 장비를 수출하려면 미국 정부의 허가를 받도록 할 예정이다. 이를 허용할 가능성은 없기 때문에 사실상 금지나 마찬가지다. 장비에 미국산 부품을 사용하는 ASML은 미국의 새 규제를 적용받을 수밖에 없다.

로이터통신은 이러한 강화안은 중국 반도체 산업에 ‘원투펀치’를 날리는 수준이라고 진단했다.

한편, 니콘과 도쿄일렉트론 등 굴지의 반도체 제조장비 회사를 보유한 일본 역시 오는 7월 23일부터 반도체 제조 장비 23종에 대한 중국 수출을 제한한다.