[NNA] 日 신에츠화학, 타이완 공장 확장... 생산능력 50% 확대

[신에츠화학공업의 타이완 자회사인 신에츠전자재료 =타이완 윈린 (사진=신에츠화학공업 제공)]

일본의 신에츠(信越)화학공업은 15일, 타이완 윈린현 더우류시(雲林県 斗六市) 과학기술공단에 위치한 포토레지스트 공장을 확장한다고 밝혔다. 투자액은 일본의 나오에츠(直江津) 공장 확장을 포함해 총 300억엔. 타이완 공장 확장으로 다층 레지스트 재료의 생산능력을 기존보다 50% 확대한다.

신에츠화학공업의 타이완 자회사 신에츠전자재료의 기존 공장에 인접하는 용지에 신규 공장을 건설하고 있다. 완공은 2021년 2월 예정. 공장 면적 및 투자액 등 상세한 사항에 대해서는 공표하지 않았다.

다층 레지스트 재료 외에도 새롭게 극자외선(EUV) 대응 레지스트의 생산도 개시한다는 방침이다.

신에츠화학공업에 의하면 반도체 수요 확대와 함께 반도체 미세화에 대응할 수 있는 레지스트 수요에 대응하기 위해 공장을 확장하기로 했다. 제품은 타이완을 비롯한 전 세계 디바이스 제조사에 공급할 계획이다.

타이완 경제부의 투자심의위원회는 지난해 9월, 신에츠화학공업의 신에츠전자재료에 대한 증자를 승인했다. 투자심의위원회 공고에 의하면, 13억 2000만타이완달러(약 48억엔)를 공장 확장에 투입한다. 올해 4월에도 신에츠전자재료에 대한 증자를 위해 77억엔의 융자신청을 승인받았다.

일본 나오에츠 공장은 이번 확장을 통해 불화아르곤(ArF) 포토 레지스트의 생산능력을 30% 상향한다. 2022년 2월 완공을 목표로 하고 있다.