SK하이닉스, EUV 장비 확보에 약 5조원 투입..."차세대 공정 대응"

김지윤 기자입력 : 2021-02-24 18:25
SK하이닉스가 차세대 공정 양산 대응을 위한 극자외선(EUV) 장비 구매에 약 5조원을 투자한다.

SK하이닉스는 24일 이사회를 열고 EUV 스캐너 기계장치 구입을 위해 2025년 12월까지 4조7549억원을 투자하기로 의결했다고 밝혔다. 이는 자기자본 대비 7.34%에 해당한다.

거래 상대방은 네덜란드의 ASML이다. ASML은 반도체 장비 제조업체로 세계에서 유일하게 EUV 장비를 생산하는 것으로 알려져 있다.

SK하이닉스 관계자는 "취득가액은 EUV 스캐너 도입 및 운영을 위한 신규 기계 장치 및 설치에 소요되는 총 예상금액"이라며 "취득 예정일자는 최종 기계장치를 인도받을 것으로 예상되는 일자 기준이며 계약 상대방과의 협의에 따라 변경될 수 있다"고 밝혔다.

EUV 장비는 한 대당 평균 2000억원 수준으로 알려져 있다. 이에 따라 SK하이닉스는 5년 동안 20대 이상의 EUV 장비를 도입하겠다는 계획을 세운 것으로 보인다.

EUV는 기존에 노광에 쓰이던 불화아르곤(ArF) 광원에 비해 14분의 1 미만으로 파장의 길이가 짧아서 얇고 세밀한 회로 패턴을 구현할 수 있는 것이 특징이다.
 

지난 1일 경기 이천 SK하이닉스 본사에서 화상 연결 방식으로 진행된 'M16 준공식'에서 참석자들이 박수를 치고 있다. [사진=SK하이닉스 제공] 


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