"韓 기업, 中 빈화그룹서 불화수소 조달"···타국 반도체 재료 테스트

日 언론 상하이증권보 인용 보도···수출규제 대안으로 선택

지난 5일 서울 서초 삼성전자 딜라이트 홍보관에서 관람객들이 웨이퍼 등 반도체 관련 전시물을 살펴보고 있다. [사진=삼성전자 제공] 

한국 반도체 기업이 중국 화학업체와 불화수소(에칭가스) 수주 계약을 맺었다는 외신 보도가 나왔다.

일본 정부가 한국에 반도체 관련 핵심소재 수출규제를 강화한 가운데, 삼성전자 등 국내 기업이 본격적으로 일본이 아닌 다른 나라 기업과 협업에 나선 것이라는 평가가 나온다.

17일 일본 교도통신이 중국 상하이증권보를 인용한 보도에 따르면 한국 반도체 기업은 에칭가스를 중국 화학기업인 빈화그룹(浜化集団·Befar Group)으로부터 받기로 했다. 일본 교도통신은 빈화그룹이 품질 검사 등을 거쳐 한국 기업과 정식 협력 관계를 맺었다고 전했다.

일본이 최근 고순도 불화수소의 수출규제를 강화하고 있는 가운데, 국내 기업들이 이를 대신할 조달처로 중국을 택했을 것이라는 설명이다.

불화수소는 반도체를 회로 패턴대로 깎아내는 식각, 세정 과정 등에 쓰인다. 일본이 초고순도 불화가스 기술에 있어선 세계적인 경쟁력을 갖고 있을뿐 아니라 관련 시장도 거의 점유하고 있다. 현재 스텔라, 모리타 같은 일본 기업이 독점·생산 중이다. 우리나라의 일본에 대한 불화수소 수출 의존도는 41.9%에 달한다.

전일 일본 니혼게이자이신문 등도 삼성전자가 최근 일본산을 대체하기 위해 한국 및 중국, 대만산 등에 대한 불화수소 품질 검증에 들어갔다고 전했다. 실제 삼성전자는 일본의 수출규제 조치 이후 즉각 중국과 대만 등에 담당 임원을 보내 대체 조달 가능성을 타진했었다.

니혼게이자신문은 삼성 관계자를 인용해 "삼성이 반도체공장에서 새로운 재료를 시험할 때 사용하는 라인에 일본 기업 이외의 업체에서 만든 에칭 가스를 투입해 시험을 시작했다"고 밝혔다.

삼성전자는 최근 이같은 보도와 관련해 "다양한 가능성을 열어두고 검토를 하고 있다"며 "에칭가스뿐만 아니라 핵심 소재에 대한 대체 시도는 꾸준히 해왔다"고 말했다. 다만 "특정 나라나 기업체와의 거래 사항은 공개할 수 없다"고도 덧붙였다.

일본 닛케이는 삼성전자에 이어 SK하이닉스도 일본제 이외의 불화수소를 시험하는 것을 검토하고 있다고 전했다. 이 신문은 "삼성은 리스크 분산을 위해서라도 일본으로부터의 조달을 줄일 가능성이 있다"며 "한국 반도체 업계의 '일본 이탈'이 이어질 가능성이 있다"고 밝혔다.

반도체 업계에서는 삼성전자와 SK하이닉스 등이 기존 일본산 소재가 아닌 다른 소재를 당장 공정에 적용하기는 어려울 것이라고 봤다. 한 재계 관계자는 "웨이퍼 원판 투입부터 최종 제품 생산까지 가능한지 검토하는데 최소 3~4개월이 걸린다"며 "또 중국이나 다른 나라의 에칭가스의 품질이 일본산을 대체할 수 있을지 없을지도 아직까지는 알 수 없다"고 덧붙였다.

한편, 일본 정부는 지난 1일 예고에 이어 4일 자국 기업들이 플루오린 폴리이미드와 포토레지스트, 에칭가스 등 반도체·디스플레이 관련 핵심 소재 3종을 한국에 수출할 때 매번 당국의 심사 및 허가를 받도록 규제를 강화하는 실행에 나섰다. 이전까지 3년 단위로 포괄적 허가를 내주던 것을 개별, 건별 허가 방식으로 바꾼 것이다.