한미반도체, AI 연구본부 신설··· "장비 경쟁력 강화"

TC 본더 4 등 모든 신제품 대상

[사진=한미반도체]

한미반도체가 인공지능(AI) 기반 반도체 장비 경쟁력 강화를 위해 'Ai 연구본부'를 신설했다.

18일 한미반도체에 따르면 2022년부터 소프트웨어 연구본부 산하에서 AI 기술 개발을 추진해 왔으며, 이번에 해당 조직을 AI 연구본부로 독립시켰다. 기존 AI 전문 인력에 신규 인재를 영입해 약 150명 규모의 조직을 갖췄다.

Ai 연구본부는 반도체 장비에 AI 기술을 융합해 △공정 최적화 △예측 분석 △자동화 등을 통해 생산성 혁신을 도모하고 있다. AI 기술이 탑재된 장비는 복잡한 공정 설정과 품질 검사 과정을 별도 조작 없이 스스로 수행할 수 있는 것이 특징이다.
한미반도체는 AI 기술을 실제 장비에 적용하며 성과를 내고 있다. 지난해 AI 기반 장비 자동세팅 기술인 FDS(Full Self Device Setup)를 특허 출원했다.

FDS는 스트립과 트레이를 장비에 넣기만 하면 얼라인마크(Align Mark) 인식부터 리포트 생성까지 전 과정을 자동으로 셋팅해준다. 기존에는 숙련된 엔지니어가 약 8시간에 걸쳐 수작업으로 세팅했으나, FDS 도입 시 약 35분 만에 작업이 완료돼 생산성이 크게 향상된다.

AI를 활용한 비전 검사와 옵셋(Offset) 예측 기술도 개발됐다. 옵셋은 반도체 공정에서 목표 위치와 실제 위치 간의 오차를 의미하며, AI 기술을 통해 장비 정밀도와 품질 안정성을 높이고 있다.

현재 AI 기반 FDS와 비전 기술은 '마이크로 쏘 앤 비전플레이스먼트 6.0 그리핀(MSVP 6.0 Griffin)' 장비에 적용 완료됐고 'TC 본더 4' 등 신제품에도 확대 적용될 예정이다. 향후 출시될 2.5D 빅다이 TC 본더, 빅다이 FC 본더 등에도 업그레이드된 AI 기능이 도입된다.

한미반도체 관계자는 "Ai 연구본부를 통해 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 더욱 강화해 나갈 것"이라며 "지속적인 연구개발과 투자를 이어가겠다"고 말했다.