국내 연구진 나노와이어 제조법 규명

교육과학기술부는 윤순길(사진) 충남대학교 교수 연구팀이 저온에서 화학기상증착법(CVD)을 이용해 상변화메모리 재료의 박막과 나노와이어를 제조할 수 있는 메커니즘을 규명했다고 3일 밝혔다.

윤 교수 연구팀은 저온에서 화학기상증착법을 이용해 상변화재료인 IST(In-Sb-Te) 박막 제조와 나노와이어 성장을 조절해 고집적 상변화메모리 소자를 응용할 수 있는 공정방법을 개발하였다.  

이번 연구결과는 나노분야의 세계적인 과학저널인 '나노레터' 온라인 판에 게재됐다.
 
이번 연구는 교육과학기술부와 한국연구재단의 △중견연구자지원사업 중 도약연구 및 핵심연구 △2단계 BK21사업 등의 지원을 받아 수행됐으며 윤교수 외에 안준구 박사과정생, 박경우 석사과정생, 정현준 석사과정생이 참여했다.

아주경제= 김명근 기자 [e-mail]
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