[공시]주성엔지니어링, LCD용 증착장치 등 특허 취득

(아주경제 문진영 기자) 주성엔지니어링은 액정표시장치용 증착 장치에 대한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다. 회사측은 특허권 취득으로 주성엔지니어링은 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력을 강화할 계획이라고 밝혔다.

또 형상 조절이 자유로운 유도결합형 플라즈마 발생용 안테나 관련 국내 특허도 취득했다고 덧붙였다. 

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