한국나노기술원, 에이엠씨(주)와 장비 기증 협약 체결

아주경제 김문기 기자 =나노 분야의 연구개발 및 지원을 위해 미래창조과학부가 주관하고 경기도의 지원으로 설립된 한국나노기술원(원장 김희중)은, 반도체 부품 전문업체인 에이엠씨 주식회사(대표 안용국)와 장비기증 협약을 12일 체결했다.

주요 협력내용은 △AMC(주)가 제품 연구개발용으로 사용하던 8인치 RTP 장비(Rapid Thermal Processing, 구매 당시 시가 6~7억원)를 한국나노기술원에 무상 기증 △기술원이 AMC(주)에서 연구개발 중인 제품에 대한 특성 평가를 기술원의 보유 장비를 통해 기술 지원 △정부 및 지자체 주관 연구개발 관련 공동연구에 관련한 협력 등이다.

이번에 기증되는 RTP 장비는 대면적 화합물 에피 소자 제작을 위한 필수 공정인 열처리 공정에 반드시 필요한 장비인데, 현재 기술원이 중장기적으로 추진 중인 대면적(8인치) 화합물 에피 소자 개발을 위한 플랫폼 구축에 주요 장비로 활용하게 될 예정이다.

또한 중소기업 니즈(needs)와 당 기술원의 필요 수요를 매칭한 상호 윈-윈 전략으로써, 기술원과 AMC(주)는 향후 대면적(8인치) 화합물 에피 소자 개발을 위한 기술개발 및 공동연구 등에 관한 기관 간 협력방안을 논의하고 상호 유기적인 협력개발체제를 구축하기로 했다.